Große Kammer-Lichtbogen-Ionen-Plasma-Beschichtungsmaschine

Das Prinzip der Lichtbogenionenplattierung wird auf der Grundlage der Theorie der Kaltkathoden-Vakuumlichtbogenentladung erforscht. Die Kerntechnologie der Multi-Arc-Ionenbeschichtungsmaschine ist ihre Lichtbogenverdampfungsquelle. Die Verdampfungsquelle der Mehrfachbogen-Ionenbeschichtungsmaschine ist eine relativ spezielle Selbstverdampfungs- und Selbstionisations-Feststoffverdampfungsquelle der Kaltkathoden-Bogenentladung.

Verglichen mit der herkömmlichen Verdampfungsquelle hat die Lichtbogen-Verdampfungsquelle des Multi-Arc-Ionenbeschichters offensichtliche Eigenschaften:

Der Beschichtungsfilm hat eine hohe Dichte, eine lange Filmlebensdauer und eine hohe Festigkeit;

Als Festkörper-Lichtbogenverdampfungsquelle können ihre Form, Größe und Position geändert werden;

Großer Betriebsvakuumbereich;

höhere Ionenenergie;

Hohe Ionisationsrate bis zu 60 Prozent -80 Prozent ;

Hohe Abscheidungsraten, wie TiN, können hohe Abscheidungsraten von 100 nm/s bis 1000 nm/s erreichen.

Titannitrid kann als auf Glas aufgetragener Film verwendet werden. Wenn das Infrarotreflexionsvermögen größer als 75 Prozent ist, wenn die Dicke des Titannitridfilms größer als 90 nm ist, kann die Wärmeisolationsleistung des Glases effektiv verbessert werden. Außerdem kann das Einstellen des prozentualen Stickstoffgehalts im Titannitrid die Farbe des Titannitridfilms ändern, wodurch eine ideale ästhetische Wirkung erzielt wird.

Parameter

Anwendung

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