Einführung der Vakuum-Verdampfungsbeschichtungstechnologie

Die Vakuumverdampfungsbeschichtungstechnologie von Vakuumbeschichtungsmaschinenherstellern umfasst Widerstandsverdampfungsbeschichtung, Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung, Laserstrahlverdampfungsbeschichtung, Hochfrequenz-Induktionserwärmungsverdampfungsbeschichtung usw. In der folgenden Tabelle sind die Eigenschaften verschiedener Verdunstungsbeschichtungstechnologien aufgeführt.

1. Widerstandsverdampfungsbeschichtung: Die Widerstandsverdampfungsquelle wird verwendet, um Materialien mit niedrigem Schmelzpunkt wie Gold, Silber, Zinksulfid, Magnesiumfluorid, Chromtrioxid usw. zu verdampfen. Widerstandsverdampfungsquellen bestehen im Allgemeinen aus Wolfram, Molybdän und Tantal.

2. Elektronenstrahlverdampfung: Nachdem das Filmmaterial durch Elektronenstrahlerwärmung verdampft und verdampft wurde, ist es eine wichtige Heizmethode in der Vakuumverdampfungstechnik, zu kondensieren und einen Film auf der Oberfläche des Substrats zu bilden. Es gibt viele Arten solcher Geräte. Mit der breiten Anwendung der Dünnschichttechnologie sind nicht nur die Anforderungen an die Arten von Membranen vielfältig, sondern auch die Anforderungen an die Qualität der Membranen sind strenger. Die Widerstandsverdampfung kann die Anforderungen der Verdampfung einiger Metalle und Nichtmetalle nicht mehr erfüllen. Die Elektronenstrahlwärmequelle kann eine viel größere Energiedichte als die Widerstandswärmequelle erhalten, und der Wert kann 104-109W / cm2 erreichen, so dass die Folie auf 3000-6000C erhitzt werden kann. Dies bietet eine bessere Wärmequelle für die Verdampfung von Refraktärmetallen und nichtmetallischen Materialien wie Wolfram, Molybdän, Germanium, SiO2, AI2O3 usw. Da das zu verdampfende Material in einen wassergekühlten Tiegel gegeben wird, kann die Verdunstung des Behältermaterials und die Reaktion zwischen dem Behältermaterial und dem Folienmaterial vermieden werden, was für die Verbesserung der Reinheit der Folie äußerst wichtig ist. Darüber hinaus kann Wärme direkt an die Oberfläche des Filmmaterials abgegeben werden, so dass der thermische Wirkungsgrad hoch ist und die Wärmeleitungs- und Wärmestrahlungsverluste gering sind.

3. Hochfrequenz-Induktionserwärmungsverdampfung: Das Metall wird nach dem Prinzip der Induktionserwärmung auf die Verdampfungstemperatur erhitzt. Platzieren Sie den Tiegel mit dem Filmmaterial in der Mitte der Spiralspule (berührungslos) und leiten Sie einen hochfrequenten Strom durch die Spule, der das Metallfilmmaterial dazu bringen kann, Strom zu erzeugen, um sich selbst zu erwärmen, bis es verdunstet.

Die Eigenschaften der Induktionserwärmungsverdampfungsquelle: 1) Die Verdampfungsrate ist groß 2) Die Temperatur der Verdampfungsquelle ist gleichmäßig und stabil, und es ist nicht einfach, Aluminiumtropfenspritzer-Phänomen zu erzeugen 3) Die Verdampfungsquelle wird gleichzeitig geladen, es ist kein Drahtvorschubmechanismus erforderlich, die Temperaturregelung ist relativ einfach, und die Bedienung ist einfach 4) Für die Folie sind die Anforderungen an die Materialreinheit etwas breiter.

4. Lichtbogenerwärmungsverdampfung: Eine Heizmethode, die der Elektronenstrahlheizungsmethode ähnelt, ist die Lichtbogenentladungsheizungsmethode. Es hat auch die Eigenschaften, die Kontamination von Widerstandsheizmaterialien oder Tiegelmaterialien zu vermeiden, und die Heiztemperatur ist hoch, besonders geeignet für die Verdampfung von Refraktärmetallen, Graphit usw. mit hohem Schmelzpunkt und bestimmter Leitfähigkeit. Gleichzeitig ist die bei dieser Methode verwendete Ausrüstung einfacher als die des Elektronenstrahlheizgeräts, so dass es sich um eine relativ kostengünstige Verdampfungsvorrichtung handelt.

5. Laserstrahl-Verdampfungsbeschichtung: Das Verfahren zur Verwendung eines gepulsten Lasers mit hoher Leistungsdichte zum Verdampfen des Materials zur Bildung eines dünnen Films wird im Allgemeinen als Laserverdampfung bezeichnet