Mehrere Gründe, warum die Vakuumbeschichtungsmaschine zu langsam ist

Mar 31, 2022

Der Grund, warum die Vakuumbeschichtungsmaschine zu langsam ist, liegt hauptsächlich in folgenden Aspekten:

Erstens ist die Diffusionspumpe möglicherweise nicht sehr leistungsstark.

Lösung: Sie können das Ionisationsmessgerät verwenden, um eine Verbindung zum Pumpenanschluss der Diffusionspumpe herzustellen, um zu sehen, wie viel die Diffusionspumpe je nach Pumpzeit und -limit allein pumpen kann, und dann vergleichen.

2. Es gibt ein leichtes Leck im Vakuumsystem.

Lösung: Dies erfordert eine langsame Lecksuche, um zu sehen, ob die Vakuumverweilzeit den Standard erfüllen kann.

3. Die Box ist zu schmutzig und das Luftvolumen ist groß, wenn es zu schmutzig ist.

Lösung: Reinigen Sie die Box

Viertens ist der Vakuumgrad der vorderen Stufe nicht gut, und das endgültige Vakuum der mechanischen Pumpe oder der mechanischen Pumpe und der Wälzkolbenpumpe ist nicht gut.

Lösung: Sie können das Widerstandsmessgerät verwenden, um die Vorrohrleitung separat zu erkennen.