Vakuumbeschichtungsmaschine Hersteller von Vakuumbeschichtungsmaschinen Vakuumbeschichtungsanlagen Prozessreinigung

Das Vakuummaterial sollte vor dem Vakuumprozess der Vakuumbeschichtungsmaschine gereinigt werden, um Verunreinigungen von der Oberfläche des Werkstücks oder des Systemmaterials zu entfernen; Die Oberflächenreinigung der Teile der Lampenbeschichtungsmaschine ist ebenfalls erforderlich, da die durch Schadstoffe verursachten Gas- und Dampfquellen nicht nur dazu führen, dass das Vakuumsystem nicht in der Lage ist, den erforderlichen Vakuumgrad zu erreichen. Darüber hinaus wird es aufgrund des Vorhandenseins von Verunreinigungen auch die Festigkeit und Dichtleistung der Verbindung der Vakuumkomponenten beeinträchtigen.

Schadstoffe von Vakuumbeschichtungsmaschinen können als "jede Art von nutzloser Substanz oder Energie" definiert werden, Multi-Arc-Ionenbeschichtungsmaschinen können je nach physikalischem Zustand der Schadstoffe in Feststoffe, Gase und Flüssigkeiten unterteilt werden, sie liegen in Form von Filmen oder Körnern vor . Hinsichtlich seiner chemischen Eigenschaften kann es in einem ionischen oder kovalenten Zustand vorliegen und kann anorganisch oder organisch sein.

Die der Luft ausgesetzte Oberfläche des Vakuumbeschichters ist am anfälligsten für Verunreinigungen. Es gibt viele Kontaminationsquellen. Die anfängliche Kontamination ist normalerweise Teil des Entstehungsprozesses der Oberfläche selbst. Adsorptionsphänomene, chemische Reaktionen, Auslaugungs- und Trocknungsprozesse, mechanische Behandlungen sowie Diffusions- und Entmischungsprozesse tragen alle zu einer erhöhten Oberflächenkontamination verschiedener Komponenten bei. Die häufigsten Arten von Verunreinigungen auf der Oberfläche von Vakuummaterialien sind wie folgt.

①Fett: Schmiermittel, Schneidflüssigkeiten, Vakuumfette usw., die während der Verarbeitung, Montage und des Betriebs verunreinigt werden;

②Auf Wasserbasis: Handschweiß während des Betriebs, Wasserdampf beim Blasen, Speichel usw.;

③Oberflächenoxid: das Oberflächenoxid, das entsteht, wenn das Material längere Zeit an die Luft gebracht oder in feuchte Luft gebracht wird;

④Säure-, Alkali- und Salzsubstanzen: Reststoffe während der Reinigung, Handschweiß, Mineralien im Wasser usw.;

⑤Polierrückstände und Staub und andere organische Stoffe in der Umgebungsluft.

Je nach Anforderung kann die gereinigte Oberfläche der Vakuumbeschichtungsmaschine in zwei Kategorien eingeteilt werden: atomar saubere Oberfläche und prozesstechnisch saubere Oberfläche.

Die Reinigungsarbeiten in der frühen Phase der Vakuumbeschichtungsmaschine können viele Probleme reduzieren, das Auftreten vieler kleiner Probleme in der Sputtering-Control-Sputtering-Beschichtungsmaschine vermeiden und sich sehr positiv auf die Arbeitseffizienz und die Beschichtungsqualität auswirken der Vakuumbeschichtungsmaschine. Es kann die Arbeitsstabilität aller Behälterwände und anderer Komponentenoberflächen im Vakuumsystem unter verschiedenen Arbeitsbedingungen erheblich verbessern. Diese Betriebsbedingungen umfassen: hohe Temperatur, niedrige Temperatur und die Emission und den Beschuss von Elektronen, Ionen, Photonen oder schweren Teilchen.