Konstruktionsmerkmale der Multi-Chip-Vergleichs-Chip-Vorrichtung einer Vakuumbeschichtungsmaschine

1) Feststehender Zylinder 3 Das Design mit zylindrischer Form, großem Durchmesser, dickwandiger Struktur und umfangssymmetrischer Befestigungsmethode kann eine ausreichende Festigkeit und Steifigkeit gewährleisten und gleichzeitig verhindern, dass Hochtemperatur-Sputterschleifmittel seine Innenteile verunreinigen , um die Flexibilität der Drehung des Zifferblatts 15 sicherzustellen.

2) Die Gestaltung des kreisförmigen Lagersitzes 2 gewährleistet die Abdichtung und Vertikalität der Lagersitzmontage; den Durchmesser der Welle 1 vergrößern, den Einbauabstand zwischen den beiden Lagern im Lagersitz 2 vergrößern, die eigene Festigkeit und Steifigkeit verbessern, sicherstellen, dass die Steifigkeit der Welle 1 und die Rotationsflexibilität des Zifferblatts 15 während des Rotationsvorgangs konsistent sind mit der Wiederholbarkeit der Position.

3) Laden des Transpositionsmechanismus durch Erweitern des Durchmessers der Stützplatte 16 wird die effektive Fläche des Mechanismus in der Ebenenrichtung vergrößert, und ein Vergleichsfilm mit einem großen Durchmesser (Φ26,5 mm) kann installiert werden, was förderlich ist zur Justierung des Strahlengangs und verbessert die Qualität des optischen Films; Das Vergleichsstück 12 ist aus einem einzelnen Glasstück als Vergleichsstückeinheit hergestellt. Das Vergleichsstück übernimmt das räumliche dreidimensionale Stapelinstallationsverfahren. Mehrere Glasstücke werden gestapelt und in einem Vergleichsstück-Lagerzylinder 13 installiert, so dass 50 bis 100 Vergleichsstücke gleichzeitig platziert werden können, was das Problem der Beschichtungsmaschine löst. Beschichtung mehrschichtiger optischer Präzisionsfolien, verglichen mit dem Problem, dass die geringe Anzahl von Blättern die Anzahl der Beschichtungsschichten und die Genauigkeit beeinflusst.

4) Das Zusammenwirken der Positionierungsplatte 6 und der optischen Kupplung 17 vom Schlitztyp, durch die optische Kupplung vom Schlitztyp, werden die drei gleichgeteilten 120-Grad-Schlitze auf der Positionierungsplatte erfasst, und die Drehung des Motors wird zum Stoppen gesteuert . Die Gleichmäßigkeit der Drehung und Positionierung der Achse 1 wird garantiert wiederholt, und die Wählscheibe 15 wird angetrieben, um die genaue Wählbewegung zu vervollständigen.

5) Der Rotationsdichtungs-Zuführmechanismus wird in den Wilson-Dichtungsmechanismus 5 eingeführt, der nicht nur sicherstellt, dass der Motor 9 die flexible Drehung der Welle 1 durch Zahneingriff antreibt, sondern auch die Dichtungswirkung der Vakuumkammer gegenüber der sicherstellt draußen. Das optimierte Design der Multi-Chip-Vergleichsvorrichtung der Vakuumbeschichtungsmaschine hat die folgenden Eigenschaften: (1) Einfacher Aufbau, hohe Festigkeit und gute Zuverlässigkeit; (2) Die Anzahl der Vergleichschips ist groß, die Produktionseffizienz wird verbessert, und Ultramehrschicht-Präzisionsoptiken können beschichtet werden. (3) Der Durchmesser des Vergleichsfilms wird erhöht, die Präzision der Filmüberwachung wird verbessert Anforderungen an das Hardwaresystem werden reduziert, und das System lässt sich leicht automatisch steuern; (4) Die Wartungskosten sind gering.

Durch das optimierte Design der mehrteiligen Vergleichsstückvorrichtung der Vakuumbeschichtungsmaschine werden die Flexibilität der Drehung des Vergleichsstückmechanismus und die Wiederholungskonstanz gewährleistet, und die kleine effektive Fläche des Vergleichsstücks die unbequeme Justierung von der optische Pfad und das Signal-Rausch-Verhältnis des optischen Signals gelöst werden. Es löst auch das Problem einer geringeren Beladung mit Vergleichsfolien, was die Qualität des optischen Films, der durch die vorhandene Vakuumbeschichtungsmaschine beschichtet wird, stark verbessern kann, und der optische Film mit mehr als 30 Schichten kann beschichtet werden. Die Praxis hat bewiesen, dass dieser Vergleichsfolienaufbau nützlich ist und in der modernen optischen Vakuumbeschichtungsindustrie gefördert und implementiert werden kann.