Mess- und Überwachungsmethode der Filmdicke einer modernen Vakuumbeschichtungsmaschine

Die direkteste Beschichtungssteuerungsmethode ist die Quarzkristall-Mikrowaagenmethode (QCM), die die Verdampfungsquelle direkt ansteuern und das Leitblech durch die PID-Steuerung schalten kann, um die Verdampfungsrate aufrechtzuerhalten. Solange das Instrument mit der Systemsteuerungssoftware verbunden ist, kann es den gesamten Beschichtungsprozess steuern. Aber die Genauigkeit von (QCM) ist begrenzt, zum Teil, weil es die Qualität der abgeschiedenen Beschichtung und nicht ihre optische Dicke überwacht.

Während das QCM bei niedrigeren Temperaturen sehr stabil ist, wird es bei höheren Temperaturen sehr temperaturempfindlich. Bei längerer Erwärmung ist es schwierig zu verhindern, dass der Sensor in diesen empfindlichen Bereich fällt, was zu erheblichen Fehlern im Film führt.

Die optische Überwachung ist die bevorzugte Überwachungsmethode für hochpräzise Beschichtungen, da sie (bei richtiger Anwendung) eine genauere Kontrolle der Schichtdicke ermöglicht. Die Verbesserung der Genauigkeit ergibt sich aus vielen Faktoren, aber der grundlegendste Grund ist die Überwachung der optischen Dicke.

Das optische Einzelwellenlängen-Überwachungssystem OPTIMAL SWA-I-05 verwendet indirekte Messung und Steuerung in Kombination mit fortschrittlicher optischer Überwachungssoftware, die von Dr. Wang entwickelt wurde, um die Theorie und Methode der optischen Ansprechempfindlichkeit auf Änderungen der Filmdicke effektiv zu verbessern Reduzieren Sie den ultimativen Fehler, indem Sie eine Auswahl an Modi für Feedback oder Übertragung und eine große Auswahl an Überwachungswellenlängen bereitstellen. Es ist besonders geeignet für die Beschichtungsüberwachung verschiedener Schichtdicken einschließlich unregelmäßiger Schichtüberwachung.