Beschichtungsmaschine für PVD-Werkzeuge

Woraus besteht das Vakuum-PVD-Beschichtungsanlagensystem? Heute geben wir Ihnen eine kurze Einführung.

(1) Hauptpumpe: Im Vakuumsystem ist die Vakuumpumpe, die verwendet wird, um den erforderlichen Vakuumgrad zu erreichen, um die spezifischen Prozessanforderungen zu erfüllen, wie z. B. die Öldiffusionspumpe in der Vakuumbeschichtungsmaschine, die Hauptpumpe.

(2) Vorpumpe: eine Vakuumpumpe, die verwendet wird, um den Vordruck einer Vakuumpumpe unter ihrem kritischen Vordruck zu halten. Beispielsweise ist die der Wälzkolbenpumpe vorgeschaltete Drehschieber- oder Schieberventilpumpe die Vorpumpe.

(3) Grobpumpe: eine Vakuumpumpe, die vom atmosphärischen Druck aus zu pumpen beginnt und den Systemdruck zu einer anderen Vakuumpumpe pumpt, um mit der Arbeit zu beginnen. Beispielsweise ist die Schieberpumpe in der Vakuumbeschichtungsmaschine die Rohölpumpe.

(4) Wartungspumpe: Im Vakuumsystem ist das Luftvolumen sehr gering und die Vorvakuumpumpe kann nicht effektiv genutzt werden. Zu diesem Zweck ist eine Hilfspumpe mit geringerer Kapazität konfiguriert, um die Hauptpumpe zu warten, die als Wartungspumpe bezeichnet wird. Zum Beispiel ist am Ausgang der Diffusionspumpe, die eine Wartungspumpe ist, eine kleine Drehschieberpumpe angebracht.

Tatsächlich kann ein einfaches Vakuumsystem nur ein grobes Vakuum erzeugen. Wenn ein Hochvakuum erwünscht ist, wird üblicherweise eine Hochvakuumpumpe in das Vakuumsystem in Reihe geschaltet. Beispielsweise sind eine Wälzkolbenpumpe und eine Schraubenpumpe allesamt Pumpen, die ein Hochvakuum erzielen. Wenn eine Hochvakuumpumpe in Reihe geschaltet wird, werden normalerweise Ventile an dem Einlass und Auslass der Hochvakuumpumpe hinzugefügt, so dass die Hochvakuumpumpe allein das Vakuum aufrechterhalten kann. Handelt es sich bei der nachgeschalteten Hochvakuumpumpe um eine Öldiffusionspumpe, wird am Eingang der Öldiffusionspumpe üblicherweise ein Trap, ein Wasserkühlblech, eingebaut, um zu verhindern, dass zu viel Öldampf in den gepumpten Behälter zurückfließt . Je nach Bedarf können der Rohrleitung auch Staubabscheider, Vakuum-Relaismessköpfe, flexible Vakuum-Verbindungsrohre, Vakuumpumpen-Entlüftungsventile, Radiatoren usw. hinzugefügt werden, wodurch ein relativ vollständiges Hochvakuumsystem gebildet wird.

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