PVD-Beschichtungsmaschine

Die Vakuumbeschichtungsmaschine besteht im Allgemeinen aus drei Teilen: Vakuumkammer, Vakuumeinheit und elektrischem Schaltschrank. Was ist das Arbeitsprinzip dieser Maschine? Schauen wir uns das heute an.

1. Vakuumhauptkörper - Die Größe der Vakuumkammer variiert je nach den Anforderungen der verarbeiteten Produkte. Derzeit sind die am häufigsten verwendeten Durchmesser 1,3 M, 0,9 M, 1,5 M, 1,8 M usw. Die Kammer besteht aus Edelstahl. Da kein Rost, keine Festigkeit usw. erforderlich sind, hat jeder Teil der Vakuumkammer ein Verbindungsventil, das zum Anschließen jeder Luftpumpe verwendet wird.

2. Zusätzliches Abgassystem: Das Abgassystem ist ein wichtiger Teil des Vakuumsystems der Vakuumbeschichtungsmaschine, das hauptsächlich aus drei Teilen besteht: einer mechanischen Pumpe, einer Druckerhöhungspumpe und einer Öldiffusionspumpe. Dieses Abgassystem besteht aus "Diffusionspumpe plus mechanische Pumpe plus Wurzelpumpe plus kryogene Kühlfalle plus Polykälte". Der Evakuierungsprozess läuft wie folgt ab: Die mechanische Pumpe evakuiert zunächst die Vakuumkammer auf einen niedrigen Vakuumzustand von weniger als 2, 0*10-2PA, der die Voraussetzung für die nachfolgende Evakuierung der Diffusionspumpe bildet, und dann, wenn die Diffusionspumpe die Vakuumkammer evakuiert, wirkt die mechanische Pumpe mit der Öldiffusionspumpe zusammen, um die Pumpwirkung auf diese Weise zu vervollständigen.

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