Schneidwerkzeuge PVD-Beschichtungsmaschine

Die Vakuumbeschichtungsmaschine benötigt Materialien beim Beschichten. Heute werfen wir einen Blick auf die gebräuchlichsten Materialien.

1. Fluorid: Neodymfluorid NbF3, Bariumfluorid BaF2, Cerfluorid CeF3, Magnesiumfluorid MgF2, Lanthanfluorid LaF3, Yttriumfluorid YF3, Ytterbiumfluorid YbF3, Erbiumfluorid ErF3 und andere hochreine Fluoride.

2. Oxide: Siliziummonoxid SiO, Siliziumdioxid SiO2, Titandioxid TiO2, Zirkoniumdioxid ZrO2, Hafniumdioxid HfO2, Titanmonoxid TiO, Titanpentoxid Ti3O5, Niobpentoxid Nb2O5, Tantalpentoxid Ta2O5, Yttriumoxid Y2O3, Zinkoxid ZnO und andere hoch- reine Oxidbeschichtungsmaterialien.

3. Metallbeschichtungsmaterialien: hochreines Aluminium Al, hochreines Kupfer Cu, hochreines Titan Ti, hochreines Silizium Si, hochreines Gold Au, hochreines Silber Ag, hochreines Indium In, hochrein Magnesium Mg, hochreines Zink Zn, hochreines Platin Pt, hochreines Germanium Ge, hochreines Nickel Ni, hochreines Gold Au, Goldgermanium-Legierung AuGe, Gold-Nickel-Legierung AuNi, Nickel-Chrom-Legierung NiCr, Titan-Aluminium-Legierung TiAl, Kupfer Indium-Gallium-Legierung CuInGa, Kupfer-Indium-Gallium-Selenid-Legierung CuInGaSe, Zink-Aluminium-Legierung ZnAl, Aluminium-Metall-Beschichtungsmaterialien wie Siliziumlegierung AlSi.

4. Andere Verbindungen: Zinksulfid ZnS, Zinkselenid ZnSe, Titannitrid TiN, Siliziumkarbid SiC, Lanthantitanat LaTiO3, Bariumtitanat BaTiO3, Strontiumtitanat SrTiO3, Praseodymtitanat PrTiO3, Cadmiumsulfid CdS und andere Vakuumbeschichtungsmaterialien.

Die Materialien, die in üblichen Vakuumbeschichtungsmaschinen verwendet werden, haben die oben genannten vier Aspekte: Fluoride, Oxide, Metallbeschichtungsmaterialien und andere Verbindungen.

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Parameter

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